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更新時間：2023-05-22
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鄭科探6寸氣浮手動探針臺，全新設計優化，新增樣品保護功能（針座平臺不抬升，探針不脫離，氣動快速移動無法使用，保護樣品因操作不當造成損傷）；顯微鏡龍門XY平移臺同軸微調，顯著弱小平移臺空間體積。
晶圓探針臺是一種半導體測試設備，主要用于測試半導體晶圓上芯片的電學性能。晶圓探針臺通常由機械部分和電子部分組成。機械部分由一個精密機械結構、探針、微動系統、信號線等組成，用來精確定位和接觸芯片，保證測試結果的準確性和可靠性。電子部分由信號發生器、示波器、測量儀等測試設備和控制程序、數據處理等軟件組成，負責信號采集、處理和數據分析。晶圓探針臺的運行原理是先用機械結構精確定位和接觸芯片，在信號發生器的控制下，向芯片中注入一定的電信號，再通過示波器、測量儀等測試設備，測量芯片的各種電學參數，如電阻、電容、電感等，評估芯片的性能和質量。
晶圓探針臺在半導體制造和研發中有著非常重要的地位，可以大大提高芯片測試的效率和準確性。不同型號的晶圓探針臺適用于不同的測試需求，從小尺寸、低功耗芯片到高速、高功率芯片等范圍都有涉及。其中一些晶圓探針臺還具備自動化控制和多樣化測試能力，可以實現高精度測試和大規模生產。
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