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產品簡介
真空手動多功能微型探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號
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真空手動多功能微型探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號
真空手動多功能微型探針臺真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。
* 溫度可控，可控精度<0.1℃
* 真空度10-3至10-5Torr
* 防震動設計
* 測量范圍DC至67 GHz
* 多可容納100毫米晶圓
* 可配置多達四個微操縱探針臂（波紋管）
* 探針座微操作器行程±12mm
* 電纜線屏蔽、電氣噪聲、熱輻射損失降到低
* 可預留不同尺寸接口以備充入其它氣體使用
* 可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用
* 顯微鏡觀察系統可選
目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統 等離子清洗機 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。
公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。
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